Parametry komórki elementarnej azotku krzemu różnią się od krzemu elementarnego. Dlatego, w zależności od metody osadzania, powstały film z azotku krzemu wytworzy napięcie lub naprężenie. Szczególnie w przypadku stosowania technologii osadzania chemicznego z fazy gazowej wspomaganej plazmą, napięcie można zmniejszyć, dostosowując parametry osadzania.
Najpierw dwutlenek krzemu jest wytwarzany metodą zol-żel, a następnie żel krzemionkowy zawierający ultradrobne cząsteczki węgla poddaje się obróbce poprzez redukcję karbotermiczną i azotowanie w celu otrzymania nanodrutów z azotku krzemu. Najdrobniejsze cząsteczki węgla w żelu krzemionkowym powstają w wyniku rozkładu glukozy w temperaturze 1200-1350 ℃. Reakcjami zachodzącymi w procesie syntezy mogą być:
SiO2 (s) + C (s) → SiO (g) + CO (g)
3 SiO (g) + 2 N2 (g) + 3 CO (g) → Si3N4 (s) + 3 CO2 (g) lub
3 SiO (g) + 2 N2 (g) + 3 C (s) → Si3N4 (s) + 3 CO (g)
